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射频电源_静电卡盘电源_射频电源匹配器

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双频匹配器

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天津吉兆源科技有限公司为您提供双频匹配器。

产品性能:

该匹配器能够提供快速、准确的阻抗变换。可变电容由电机驱动,电机通过计算主板控制。

采用高速的匹配算法,可调的转速,即使是高q值的系统也能达到准确的匹配效果。

通过调整内部继电器,调节不同档位,达到匹配。

应用对象:

该双频匹配器主要应用对象包括:刻蚀、pecvd系统



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