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射频电源_静电卡盘电源_射频电源匹配器

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13.56MHZ射频电源匹配器一体机

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天津吉兆源科技有限公司为您提供13.56mhz射频电源匹配器一体机。

产品性能


该电源通过特殊的射频隔离设计,将射频电源与自动匹配器集为一体,减少射频系统体积。输出功率300w,频率13.56mhz,标准正弦波。大屏幕液晶显示:设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数。


应用对象


该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括:磁控溅射、等离子清洗、pecvd等小型容性射频系统。


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